High-pass energy-filtered photoemission electron microscopy imaging of dopants in silicon
- Publikationstyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Metadaten:
-
- Autoren
- Hans-Joachim Elmers
- Gerhard Schönhense
- Sammlungen
- metadata
- ISSN
- 0022-2720
- Ausgabe der Veröffentlichung
- 1
- Zeitschrift
- Journal of microscopy
- Schlüsselwörter
- 530 Physik
- 530 Physics
- Sprache
- eng
- Paginierung
- Seiten: 42 - 47
- Datum der Veröffentlichung
- 2008
- Herausgeber
- Wiley-Blackwell
- Herausgeber URL
- http://dx.doi.org/10.1111/j.1365-2818.2008.01953.x
- Datum der Datenerfassung
- 2020
- Datum, an dem der Datensatz öffentlich gemacht wurde
- 2020
- Zugang
- Public
- Titel
- High-pass energy-filtered photoemission electron microscopy imaging of dopants in silicon
- Ausgabe der Zeitschrift
- 230
Datenquelle: METADATA.UB
- Andere Metadatenquellen:
-
- Autoren
- M Hovorka
- L Frank
- D Valdaitsev
- SA Nepijko
- HS Elmers
- G Schoenhense
- Autoren-URL
- https://www.webofscience.com/api/gateway?GWVersion=2&SrcApp=fis-test-1&SrcAuth=WosAPI&KeyUT=WOS:000254614600007&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL
- DOI
- 10.1111/j.1365-2818.2008.01953.x
- eISSN
- 1365-2818
- Externe Identifier
- Clarivate Analytics Document Solution ID: 283CQ
- PubMed Identifier: 18387038
- ISSN
- 0022-2720
- Ausgabe der Veröffentlichung
- 1
- Zeitschrift
- JOURNAL OF MICROSCOPY
- Schlüsselwörter
- dopants
- energy-filtered imaging
- PEEM
- silicon
- Paginierung
- 42 - 47
- Datum der Veröffentlichung
- 2008
- Status
- Published
- Titel
- High-pass energy-filtered photoemission electron microscopy imaging of dopants in silicon
- Sub types
- Article
- Ausgabe der Zeitschrift
- 230
Datenquelle: Web of Science (Lite)
- Abstract
- <jats:title>Summary</jats:title><jats:p>Differently doped areas in silicon can show strong electron‐optical contrast in dependence on the dopant concentration and surface conditions. Photoemission electron microscopy is a powerful surface‐sensitive technique suitable for fast imaging of doping‐induced contrast in semiconductors. We report on the observation of Si (100) samples with n‐ and p‐type doped patterns (with the dopant concentration varied from 10<jats:sup>16</jats:sup> to 10<jats:sup>19</jats:sup> cm<jats:sup>−3</jats:sup>) on a p‐ and n‐type substrate (doped to 10<jats:sup>15</jats:sup> cm<jats:sup>−3</jats:sup>), respectively. A high‐pass energy filter of the entire image enabled us to obtain spectroscopic information, i.e. quantified photo threshold and related photoyield differences depending on the doping level. Measurements have confirmed the possibility of resolving areas at a high contrast even with the lowest dopant concentration when employing the energy filter. The influence of electron absorption phenomena on contrast formation is discussed.</jats:p>
- Autoren
- M HOVORKA
- L FRANK
- D VALDAITSEV
- SA NEPIJKO
- HS ELMERS
- G SCHÖNHENSE
- DOI
- 10.1111/j.1365-2818.2008.01953.x
- eISSN
- 1365-2818
- ISSN
- 0022-2720
- Ausgabe der Veröffentlichung
- 1
- Zeitschrift
- Journal of Microscopy
- Sprache
- en
- Online publication date
- 2008
- Paginierung
- 42 - 47
- Datum der Veröffentlichung
- 2008
- Status
- Published
- Herausgeber
- Wiley
- Herausgeber URL
- http://dx.doi.org/10.1111/j.1365-2818.2008.01953.x
- Datum der Datenerfassung
- 2023
- Titel
- High‐pass energy‐filtered photoemission electron microscopy imaging of dopants in silicon
- Ausgabe der Zeitschrift
- 230
Datenquelle: Crossref
- Beziehungen:
- Eigentum von